Подробное описание документа

Купцов А. Д., Сидорова С. В.
   Обзор способов оценки величины остаточных напряжений в тонкопленочных покрытиях и многослойных структурах / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Наукоемкие технологии в машиностроении : материалы 15-ой Международной научно- технической конференции, Москва, 1-3 ноября 2023 года : в 2 т. / Министерство науки и высшего образования РФ, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского, Институт машиноведения им. А. А. Благонравова Российской академии наук ; общ. ред. Лавриненко В. Ю. - 2024. - Т. 2. - С. 44-46.

Рассмотрена актуальность контроля толщины тонкопленочных проводящих и диэлектрических покрытий, формируемых методом вакуумных технологий, для оценки влияния на величины остаточных механических напряжений. Описаны методы измерения толщины проводящих и диэлектрических структур. Описаны применимые методы оценки величины остаточных механических напряжений. Представлены достоинства и недостатки каждого из методов. Предложен рациональный метод оценки величины остаточных напряжений в тонкопленочных покрытиях.
Ключевые слова: тонкопленочные покрытия, методы оценки, наноразмерная толщина, остаточные напряжения

УДК

62 Инженерное дело. Техника в целом

Авторы МГТУ

• Купцов Алексей Дмитриевич
• Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях