Подробное описание документа

Фельде А. А., Мальцев В. С., Сидорова С. В.
   Технологии ионно-плазменной обработки оксидов металлов и сегнетоэлектриков / Фельде А. А., Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Наукоемкие технологии в машиностроении : материалы 15-ой Международной научно- технической конференции, Москва, 1-3 ноября 2023 года : в 2 т. / Министерство науки и высшего образования РФ, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского, Институт машиноведения им. А. А. Благонравова Российской академии наук ; общ. ред. Лавриненко В. Ю. - 2024. - Т. 2. - С. 83-85.

Рассмотрена актуальность изучения ионноплазменной обработки поверхностей и тонкопленочных покрытий оксидов металлов и сегнетоэлектрических материалов. Приведены результаты исследования влияния различных режимов ионно-плазменной обработки на поверхность оксидов металла и сегнетоэлектриков. Показано влияние ионов газа на структуру поверхности материалов. Представлены результаты исследования поверхностей оксида алюминия и сегнетоэлектрика на атомносиловом микроскопе. Отмечено увеличение развитости поверхностных слоев сегнетоэлектрика и оксида алюминия после ионно-плазменной обработки в среде аргона и кисло-рода. Объяснено влияние ионов газовой смеси на шероховатость и развитость поверхности различных материалов.
Ключевые слова: плазменная обработка, ионная обработка, сегнетоэлектрик, оксид алюминия, травление, атомно-силовая микроскопия

УДК

621.7 Технология обработки без снятия стружки в целом: процессы, инструмент, оборудование и приспособления (формоизменяющие операции, термообработка, соединение материалов, нанесение покрытий)

Авторы МГТУ

• Фельде Анастасия Александровна
• Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях