Подробное описание документа

Статья

Кирьянов С. В., Сидорова С. В.
Отработка режимов формирования островковых тонких пленок Ni и Co для внедрения в СТМР-датчик / Кирьянов С. В., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 16-я, Москва, 19-22 сентября 2023 года : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2024. - Т. 1. - С. 240-246.

Аннотация

Проведена отработка режимов формирования островковых тонких пленок никеля и кобальта методом контроля туннельного тока. Проведен СЭМ-анализ островковых покрытий, проанализировано влияние режимов формирования на среднее расстояние между структурами, латеральный размер и среднюю площадь островов. Сформулированы рекомендации по режимам формирования островковых слоев для спин-туннельного магниторезистивного датчика

УДК
620.3 Нанотехнология

Авторы МГТУ

Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 240-246

Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 16-я, Москва, 19-22 сентября 2023 года : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2024. - ISBN 978-5-7038-6246-9.
Т. 1. - 2024. - 612 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6247-6.

подробнее