Подробное описание документа

Купцов А. Д., Сидорова С. В.
   Модуль контроля и управления нагревателем для процессов формирования тонких пленок с малыми значениями остаточных напряжений / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 16-я, Москва, 19-22 сентября 2023 года : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2024. - Т. 1. - С. 253-260.

Описана актуальность области микро- и наноэлеткроники для получения уникальных свойств объектов за счет применения тонкопленочных покрытий. Показаны основные недостатки наличия остаточного напряжения в пленках. Описана необходимость использования нагрева подложки перед формированием тонких пленок. Разработан модуль контроля и управления нагревом подложки. Приведены зависимости температуры нагревателя от времени нагрева для различных условий. Обосновано применение конкретных компонентов при сборке модуля нагревателя.