Подробное описание документа

Статья

Попова А. А., Сидорова С. В.
Исследование влияния параметров резистивного испарения на латеральный размер островковых наноструктур меди / Попова А. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 16-я, Москва, 19-22 сентября 2023 года : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2024. - Т. 1. - С. 273-278.

Аннотация

Выделены области применения и преимущества использования островковых тонких пленок и наноструктур для областей науки и техники. Организован и описан стенд контроля роста островковых наноструктур. Выявлены зависимости латерального размера островка меди, полученного резистивным испарением, от расстояния меж-ду подложкой и испарителем, времени проведения процесса и температуры под-ложки. Обработаны результаты эксперимента и получена математическая модель процесса.

УДК
621.389 Прочие электронные приборы

Авторы МГТУ

Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 273-278

Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 16-я, Москва, 19-22 сентября 2023 года : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2024. - ISBN 978-5-7038-6246-9.
Т. 1. - 2024. - 612 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6247-6.

подробнее