Подробное описание документа

Щербак Е. С., Наумова А. М., Сидорова С. В.
   Способ внедрения островковых тонких пленок в измерительные приборы / Щербак Е. С., Наумова А. М., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : сборник статей 13-ой Всероссийской конференции, Москва, 28-30 января 2025 года : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - 2025. - Т. 1. - С. 271-275.

Описаны преимущества внедрения островковых тонких пленок в изделия для контроля физических величин. Обоснованы требования к островковым тонким пленкам для возможности их внедрения в магнитные датчики и газовые сенсоры. Рассмотрены этапы формирования газовых сенсоров и СТМР-датчиков на основе тонкопленочных островковых покрытий. Указаны метод, оборудование и режимы для формирования островковых слоев. Приведены СЭМ и АСМ изображения островковых пленок кобальта и алюминия. Предложен способ контроля геометрических размеров островковых тонких пленок. Показана схема контроля туннельного тока на начальных этапах роста покрытия и графики туннельного тока в зависимости от времени.
Ключевые слова: островковые тонкие пленки, термическое испарение, магнитные датчики, газовые сенсоры, проводимость