Подробное описание документа

Беликов А. И., Мишкинис А. Р.
   Разработка компоновки технологической системы магнетронного осаждения покрытий на внутреннюю резьбу с использованием компьютерного моделирования / Беликов А. И., Мишкинис А. Р. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. - С. 213-216.

Использование предварительного компьютерного моделирования позволяет существенно ускорить процесс разработки оптимального компоновочного решения. Основной целью представляемой работы являлось выбор оптимальной компоновки системы магнетронного нанесения покрытий MoS2 на такой объект конструкции проекта ИТЭР, как тело вращения с внутренней резьбой (гайка) и центральной вставкой (анод) в него, при помощи компьютерного моделирования. В работе представлены результаты моделирования распыления мишеней MoS2 на внутреннюю резьбу детали проекта ИТЭР. Моделирование выполнено в программе TFDepositionR, в результате которого определена оптимальная компоновка элементов конструкции и магнетрона для нанесения тонких пленок равномерной толщины.
Ключевые слова: магнетронное распыление, покрытия MoS2, 3D-моделирование, компоновка системы, тонкие пленки