Подробное описание документа

Тихомиров Г. В., Коршунов И. С., Шупенев А. Е.
   Исследование свойств тонких медных пленок, осажденных на фотополимерной подложке методом импульсного лазерного осаждения / Тихомиров Г. В., Коршунов И. С., Шупенев А. Е. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 17-я, Москва, 21-24 сентября 2024 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет), Союз машиностроителей России. - 2025. - Т. 1. - С. 300-304.

В данной работе исследовались свойства медных тонких пленок, нанесенных методом импульсного лазерного осаждения на полимерную подложку, изготовленную при помощи аддитивных технологий. Дано описание использованного оборудования, представлены технологические параметры проведенного процесса. Проанализировано соотношение шероховатости подложки и толщины пленки путем оптической микроскопии. Проведены измерения шероховатостей поверхностей подложек на профилометре-контурографе. В ходе измерения электрического сопротивления тонких пленок было изучено влияние морфологии поверхности на этот параметр, приведены наиболее эффективные параметры поверхности.
Ключевые слова: импульсное лазерное осаждение, лазерная абляция, тонкие пленки, PLD, полимер