Подробное описание документа
Статья
Чучаев В. В.
Методика расчета параметров устройств для достижения заданного распределения толщины слоев покрытий / Чучаев В. В. // Технология производства оптико-электронных приборов : сборник статей / ред. Семибратов М. Н. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1972. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 155). -
681.78 Оптические и электрооптические измерительные и наблюдательные приборы