Подробное описание документа

   Статья

Матвеев В. И., Сальников Ю. В.
   Способ измерения толщин тонких диэлектрических пленок в процессе их напыления в вакууме / Матвеев В. И., Сальников Ю. В. // Технология производства оптико-электронных приборов : сборник статей / ред. Семибратов М. Н. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1972. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 155). - С. 103-106.

УДК

681.78 Оптические и электрооптические измерительные и наблюдательные приборы

Авторы МГТУ

• Сальников Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 103-106

   Технология производства оптико-электронных приборов : сборник статей / ред. Семибратов М. Н. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МВТУ им. Н. Э. Баумана, 1972. - 125 с. : рис., граф., схемы. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 155). - Библиогр. в конце статей.

подробнее