Подробное описание документа

Антропов Г. М.
   Проблемы и перспективы применения многокритериальной оптимизации в установках с ионным имплантором / Антропов Г. М. ; науч. рук. Гаврюшин С. С. // Комплексная автоматизация проектирования и производства (КАПП(М)-2025) : сборник статей 3-ей молодёжной конференции (с международным участием), Москва, 16 мая 2025 года / ред. Карпенко А. П. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - М., 2025. - С. 321-323.

Рассмотрена проблема применения многокритериальной оптимизации в установке ионного имплантора. Проанализировано современное состояние изучаемого вопроса, выявлены ключевые трудности, связанные с усовершенствованием установки, увеличение ее производительности и качества изготавливаемой продукции. Для решения обозначенной проблемы предложено для начала моделирование упрощенной модели части установки, в которой планируется применение установки, с последующим расчетом ее в других пакетах программ, позволяющих получить конечный результат: оптимизированный вариант работы. Предположено, что реализация предложенной методики позволит улучшить производительность, качество продукции, а также позволит в дальнейшей перспективе, быстрее производить микрокомпоненты (процессоры) на нужды народного хозяйства. Ключевые слова: многокритериальная оптимизация, автоматизация, ионный имплантер, моделирование