Подробное описание документа

   Исследование параметров микрооптических и дифракционных элементов с помощью технологии корреляционной микроскопии Shuttle and Find / Гончаров А. С., Ковалев М. С., Соломашенко А. Б., Кузнецов А. С. - DOI 10.18698/2308-6033-2012-9-361 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2012. - № 9. - П.Н. 17.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/2308-6033-2012-9-361

https://doi.org/10.18698/2308-6033-2012-…

engjournal.bmstu.ru/catalog/pribor/optica/361.html

https://engjournal.bmstu.ru/catalog/prib…

Исследовано совместное использование оптической и электронной микроскопии для комплексного изучения параметров микрооптических и дифракционных элементов. В качестве исследуемого образца использован микролинзовый растр. Разработана методика для контроля параметров образцов микрооптических и дифракционных элементов.