Личный кабинет
Подробное описание документа
Захаров П. С.
Исследование границы металлизации микроэлектронных структур с помощью конфокальной микроскопии / Захаров П. С., Зайончковский В. С., Баскаков Е. Б. - DOI 10.18698/2308-6033-2013-6-808 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2013. - № 6. -
Скачать документ
Новым методом исследования поверхности твердых тел является конфокальная микроскопия, которая позволяет резко увеличить точность измерений неровности поверхности в вертикальном направлении, при этом разрешение в горизонтальном направлении остается на уровне традиционных оптических микроскопов. Такое соотношение в разрешении в двух взаимно перпендикулярных направлениях позволяет получать новую, достаточно уникальную информацию, которая недоступна даже при использовании сканирующей электронной микроскопии с высоким разрешением. В статье представлены микрофотографии краев металлизации на подложках арсенида галлия и кремния. Показано, что вблизи края метод конфокальной микроскопии позволяет выявить изменения рельефа, связанные с упругими деформациями и металлической пленки, и подложки. Более того, используемый метод позволяет определить кристаллографическую ориентацию подложки.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 6. - 2013.
