Личный кабинет
Подробное описание документа
Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52 на установке МВТУ-11-1 / Макарова М. В., Мартыненко М. А., Бабурин А. С., Моисеев К. М. - DOI 10.18698/2308-6033-2015-8-1434 // Инженерный журнал: наука и инновации. - 2015. - № 8. -
Скачать документ
Рассмотрена смоделированная в программном комплексе SolidWorks магнитная система жидкофазного магнетрона НМСА-52, смонтированного и запущенного на установке МВТУ-11-1. Приведено сравнение двух вариантов магнитной системы. Ряд экспериментов по запуску магнетрона проведен с различными вариациями мишени и разными условиями горения разряда. Определены лучшие режимы работы при запуске с тиглем и мишенью для жидкофазного распыления для новой магнитной системы. Анализ полученных результатов подтвердил необходимость продолжения работы по выведению магнетрона на жидкофазный режим с использованием блока увеличенной мощности.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 8. - 2015.
