Бабурин Александр Сергеевич
Статьи
Статья
Приборные применения плазмонных эффектов / Бабурин А. С., Панфилов Ю. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. // Приборы. - 2020. - № 5. - С. 45-48 .
Статья
Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике / Бабурин А. С., Габидуллин А. Р., Зверев А. В., Родионов И. А., Рыжиков И. А., Панфилов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2016. - № 6. - С. 4-14 .
Статья
Бабурин А. С., Моисеев К. М., Афанасьев К. Н.
Формирование многослойного наноструктурированного тонкопленочного покрытия для одномерного фотонного кристалла / Бабурин А. С., Моисеев К. М., Афанасьев К. Н. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2015. -С. 236-241 .
Формирование многослойного наноструктурированного тонкопленочного покрытия для одномерного фотонного кристалла / Бабурин А. С., Моисеев К. М., Афанасьев К. Н. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2015. -
Статья
Отработка режимов технологических источников установки МВТУ-11-1 / Бабурин А. С., Моисеев К. М., Смирнов Ю. Н., Доброносова А. А. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 152-156 .
Статья
Бабурин А. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
Проблемы повышения адгезии меди к конструкционному фоторезисту SU-8 и методов ее измерения / Бабурин А. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. -С. 296-299 .
Проблемы повышения адгезии меди к конструкционному фоторезисту SU-8 и методов ее измерения / Бабурин А. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. -