Личный кабинет
Подробное описание документа
Храмова А. А.
Разработка конструкции магнитной системы c двумя областями плазмы для жидкофазного магнетронного распыления / Храмова А. А., Матанин А. Р., Васильев Д. Д. - DOI 10.18698/2541-8009-2017-9-161 // Политехнический молодежный журнал МГТУ им. Н. Э. Баумана. - 2017. - № 9. -
Скачать документ
Рассмотрен один из способов повышения индукции магнитного поля, создаваемого магнетроном, для дальнейшего осуществления МРС из жидкой фазы. Исследовано поведение магнитного поля системы двух цилиндрических соосных магнитов при изменении расстояния между ними. Приведена конструкция магнитной системы, формирующей две области плазмы, способной увеличить индукцию магнитного поля над поверхностью мишени. Выполнен сравнительный анализ магнитных полей магнитной системы с двумя магнитными областями и классической магнитной системы с одной областью плазмы. Получены количественные данные, позволяющие судить об усилении магнитного поля.
Статья опубликована в следующих изданиях
№ 9. - 2017.
