Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана
Личный кабинет
Расширенный поиск по каталогам
Поиск электронных учебников

Подробное описание документа

   Диссертация

Купцов А. Д.
   Разработка и исследование метода уменьшения механических напряжений при формировании оксидных тонкоплёночных покрытий в вакууме : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Купцов А. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2026. - 227 л. : рис., табл. - Библиогр.: л.161-173.

Скачать документ
Полнотекстовый документ
539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок
© НТБ МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2003 – 2026

Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана, Вы соглашаетесь с использованием технических файлов (cookie) и сервисов сбора и анализа статистики посещений для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания. Подробнее о технических файлах (cookie).