Подробное описание документа

   Диссертация

Купцов А. Д.
   Разработка и исследование метода уменьшения механических напряжений при формировании оксидных тонкоплёночных покрытий в вакууме : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Купцов А. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2026. - 227 л. : рис., табл. - Библиогр.: л.161-173.

Читать онлайн

Просмотреть документ

Полнотекстовый документ

УДК

539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Диссертации
• Пленки - Получение - Применение вакуума

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л