Подробное описание документа
Диссертация
Родионов И. А.
Технологии интегральных устройств квантовой обработки информации : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств : дис... дтн / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2026. - 399 л. : рис., табл. - Библиогр.:
