Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Диссертация

Родионов И. А.
   Технологии интегральных устройств квантовой обработки информации : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств : дис... дтн / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2026. - 399 л. : рис., табл. - Библиогр.: л.366-399.

Скачать документ
Полнотекстовый документ