Подробное описание документа
Автореферат диссертации
Родионов И. А.
Технологии интегральных устройств квантовой обработки информации : 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники : 2.2.2 Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств : автореф. дис... дтн / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2026. - 32 с. : рис. - Библиогр.:
