Подробное описание документа
Журнал
Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХI век.
Т. 18, № 2. - 2026.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
-
Преподавательский абонемент ауд.313,
ГУК, ауд. 313
-
Читальный зал ауд.313,
ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 38-46
Статья в журнале
Сагателян Г. Р., Новиков С. Ю., Шишлов А. В.
Влияние технологических факторов магнетронного напыления на сопротивление тонкопленочных резисторов / Сагателян Г. Р., Новиков С. Ю., Шишлов А. В. - DOI 10.18127/j22250980-202602-04