Подробное описание документа

   Островковые тонкие пленки олова для газовых сенсоров / Вануденов Д., Наумова А. М., Кирьянов С. В., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 18-я, (Москва, 23 - 26 сентября 2025 года) : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - 2026. - Т. 1. - С. 335-339.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

В работе обоснована актуальность создания газовых сенсоров на основе островковых тонких пленок олова, сформированных с использованием метода термического испарения. Особое внимание уделено островковым тонким пленкам олова, которые формируются на диэлектрической подложке. Приведено описание экспериментального стенда контроля начальных стадий роста островковых тонких пленок. Отработаны режимы формирования островковых тонких пленок олова. Показаны экспериментальные зависимости туннельного тока от времени формирования островковых тонких пленок олова. Представлена обработка результатов экспериментальных исследований связи технологических режимов и геометрических параметров тонкопленочных покрытий олова.