Подробное описание документа

Трекушевский Д. С., Купцов А. Д., Сидорова С. В.
   О связи технологических режимов и функциональных параметров тонких пленок оксида кремния в диэлектрических лазерных зеркалах / Трекушевский Д. С., Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 18-я, (Москва, 23 - 26 сентября 2025 года) : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - 2026. - Т. 1. - С. 356-361.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

Рассмотрен процесс нанесения тонких пленок оксида кремния при изготовлении лазерных диэлектрических зеркал. Показана актуальность применения диэлектрических зеркал для УФ-лазерной резки. Представлены результаты расчетов конструкции лазерного зеркала для ближнего УФ-диапазона. Приведены результаты эксперимента по напылению тонких пленок оксида кремния ВЧ-магнетронным распылением. Получена математическая модель процесса. Сделаны выводы о значимости факторов процесса и их взаимодействия. Дальнейшее направление исследований связано с исследованием процесса нанесения тонких пленок оксида титана и влияния термической обработки на получаемые покрытия.