Подробное описание документа

Щербак Е. С., Наумова А. М., Сидорова С. В.
   Моделирование физических характеристик островковых тонких пленок / Щербак Е. С., Наумова А. М., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 18-я, (Москва, 23 - 26 сентября 2025 года) : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - 2026. - Т. 1. - С. 362-368.

Скачать документ

Полнотекстовый документ

Описано преимущество внедрения островковых тонких пленок (ОТП) в устройства измерения полей и сред в качестве чувствительного слоя. Описана методика проведения физического моделирования проводимости и физических параметров ОТП. Разработаны расчетные модели фрагментов газового сенсора и СТМР-датчика магнитного поля на основе ОТП. Представлены результаты моделирования магнитных свойств многослойной ОТП кобальта и никеля и электрических свойств ОТП алюминия. Проведено сравнение величины проводимости сплошных и островковых пленок алюминия. Определено необходимое количество ферромагнитных слоев для наибольшей чувствительности СТМР-датчика к воздействию магнитного поля.