Подробное описание документа
Панфилов Ю. В.
Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы : учебник для техникумов / Панфилов Ю. В., Рябов В. Т., Цветков Ю. Б. - М. : Радио и связь, 1988. - 320 с. - 3200 р.
3 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313