Подробное описание документа

Валиев К. А.
Физика субмикронной литографии / Валиев К. А. - М. : Наука, 1990. - 527 с. : рис. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-02-014381-2.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы - Производство

Фотолитография

Общее кол-во в фондах
4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313