Подробное описание документа
Красников Г. Я.
Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС : монография / Красников Г. Я., Зайцев Н. А. - М. : МИКРОН-ПРИНТ, 1999. -
Ч. 2. - 1999. - 216 с. : ил. - Библиогр.
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313