Личный кабинет
Подробное описание документа
Патент на изобретение № 2522323 Российская Федерация, МПК F42C 1/00.
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ВЗРЫВАТЕЛЬ : № 2012158185/03 : заявл. 29.12.2012 : опубл. 10.07.2014 / Лихоеденко К. П., Апресян А. М., Цыганков В. Ю. [и др.] ; патентообладатель МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Изобретение относится к микроэлектромеханическим взрывателям. Микроэлектромеханическая структура выполнена из расположенных последовательно и соосно кристалла кремния, в котором сформирована кантилевер-игла, кристалла кремния с допированными водородом и окислителем с областью пористого слоя толщиной до 50 мкм, теплопроводящего элемента - кристалла из монокристаллического кремния и кристалла кремния с областью пористого слоя толщиной не менее 60 мкм, установленных на стеклянной подложке, имеющей отверстие в центральной части. Кантилевер-игла обращена к пористому слою кристалла кремния с областью пористого слоя толщиной до 50 мкм. Коэффициент теплопроводности теплопроводящего элемента больше коэффициента теплопроводности кристалла кремния с областью пористого слоя толщиной не менее 60 мкм. Структура закреплена на рамке, встроенной в корпус, внутри которого создан вакуум. Техническая задача изобретения заключается в увеличении эффективности взрывателя и обеспечении регулируемого взрыва. 1 ...
