Подробное описание документа

Панфилов, Ю. В. Наноинженения : учебное пособие : в 17 книгах / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов. — Москва : МГТУ им. Баумана, 2011 — Книга 3 : Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии — 2011. — 192 с. — ISBN 978-5-7038-3494-7.

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/106502

Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

Коллекция

ЭБС «Лань»

Похожие издания

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.: с. 167. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Читать онлайн

Кол-во в фондах 98 экз.

подробнее

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 192 с. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Читать онлайн

Коллекция ЭБС «Айбукс»

подробнее