Личный кабинет
Подробное описание документа
Зебрев, Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Г. И. Зебрев. — 4-е изд. — Москва : Лаборатория знаний, 2020. — 243 с. — ISBN 978-5-00101-830-8.
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Похожие издания
Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Зебрев Г. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2017. - 240 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
Физические основы кремниевой наноэлектроники : учеб. пособие / Зебрев Г. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 240 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.:
