Сушко Александр Сергеевич
| Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
|---|---|---|---|
| Материал конференции |
Сушко Александр Сергеевич МГТУ
Денисов Дмитрий Геннадьевич МГТУ |
обзор современных методов и аппаратуры для контроля качества поверхностей кремниевых подложек |
Лазеры в науке, технике, медицине : cборник научных трудов XXXVI Международной конференции
2026
.-
Т. 36
.-
С.
95 - 102
|
| Материал конференции |
Сушко Александр Сергеевич МГТУ
Денисов Дмитрий Геннадьевич МГТУ |
Оптико-электронная система оперативного мониторинга молекулярного загрязнения плоских поверхностей кремниевых подложек |
Лазеры в науке, технике, медицине : сборник научных трудов XXXVI Международной конференции
2026
.-
Т. 36
.-
С.
52 - 56
|
| Статья в журнале |
Сушко Александр Сергеевич МГТУ
|
Математическое описание и моделирование рассеянного частицами излучения | Контенант |