Сагателян Гайк Рафаэлович, д.т.н., проф.
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Бугорков К. Н. МГТУ |
Анализ высокочастотного разряда при плазмохимическом травлении кварцевого стекла гексафторидом серы | Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Бугорков К. Н. МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ |
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы | Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Бугорков К. Н. Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ |
Производительность плазмохимического травления кварцевого стекла гексафторидом серы в высокочастотном разряде | Контенант |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Пискунова Елизавета Романовна МГТУ Кондратенко Владимир Степанович Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ |
Разработка конструкции и технологии изготовления набора цветовых эталонов для оптико-микроскопических исследований |
Приборы
2023
.-
№ 8
.-
С.
40 - 43
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Пискунова Елизавета Романовна МГТУ Дубовик Николай Николаевич МГТУ Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ |
Исследование кинематики нового станка для двухстороннего полирования оптических плоскопараллельных пластин | Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век |
Статья в журнале |
Makhov D. S. МГТУ
Sagatelyan H. R. МГТУ Samorodov A. V. МГТУ |
Color Calibration Slide for Digital Microscopy Systems | Measurement Techniques |
Статья в журнале |
Кондратенко В. С.
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Шишлов Андрей Владимирович МГТУ Былинкин М. Н. |
Обеспечение равномерной толщины токопроводящего покрытия на внутренней поверхности полусферического резонатора магнетронным напылением | Успехи прикладной физики |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ Былинкин М. Н. |
Особенности магнетронного напыления внутренних сферических поверхностей | Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Грачев И. Ю. МГТУ Бугорков К. Н. Федоркова Нина Валентиновна МГТУ |
Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления | Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век |
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Бугорков К. Н. Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ |
Влияние скин-эффекта на структуру рельефно-фазовых оптических элементов, получаемых методом плазмохимического травления |
Оптический журнал
2019
.-
Т. 86
,
№ 9
.-
С.
78 - 86
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ Бугорков К. Н. |
Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов |
Оптический журнал
2019
.-
Т. 86
,
№ 5
.-
С.
70 - 77
|
Статья в журнале |
Odinokov S. B. МГТУ
Sagatelyan G. R. МГТУ Kovalev M. S. МГТУ Bugorkov K. N. |
Features of the plasma-chemical etching of quartz glass during the formation of deep surface relief on high-precision components of devices |
Journal of Optical Technology
2019
.-
Vol. 86
,
Issue 5
.-
С.
317 - 322
|
Статья в журнале |
Odinokov S. B. МГТУ
Sagatelyan G. R. МГТУ Kovalev M. S. МГТУ Bugorkov K. N. |
Influence of the skin effect on the structure of relief–phase optical elements obtained by plasma–chemical etching |
Journal of Optical Technology
2019
.-
Vol. 86
,
Issue 9
.-
С.
596 - 602
|
Статья в журнале |
Грачев И. Ю.
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Бугорков К. Н. |
Анализ распределения активного газа в реакторе при плазмохимическом травлении |
Естественные и технические науки
2018
.-
№ 4
.-
С.
206 - 207
|
Статья в журнале |
Макаров М. А.
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Былинкин М. Н. |
Расчет распределения толщины покрытия при магнетронном напылении сферических поверхностей |
Естественные и технические науки
2018
.-
№ 2
.-
С.
140 - 142
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Бугорков К. Н. Попов В. В. |
Возможности метода плазмохимического травления оптического стекла для создания функционального микрорельефа | Контенант |
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Бугорков К. Н. Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ |
Возможности плазмохимического травления стекла с применением высокочастотной диодной системы | Контенант |
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Дроздова Екатерина Андреевна МГТУ Бетин Александр Юрьевич |
Возможности создания голограммных оптических элементов жидкостного травления кремниевых пластин | Контенант |
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Дроздова Екатерина Андреевна МГТУ Бетин Александр Юрьевич |
Жидкостное травление кремния при изготовлении голограммных оптических элементов |
Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век
2018
.-
Т. 10
,
№ 2
.-
С.
38 - 51
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Бугорков К. Н. Дроздова Екатерина Андреевна МГТУ |
Закономерности и особенности двухстороннего плазмохимического травления деталей из оптического стекла |
Наноиндустрия
2018
.-
№ 1
.-
С.
50 - 62
|
Статья в журнале |
Бугорков К. Н.
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Возможности плазмохимического травления стекла по диодной схеме |
Машиностроение и компьютерные технологии
2017
.-
№ 11
|
Статья в журнале |
Бугорков Константин Николаевич МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Плазмохимическое травление стекла с применением высокочастотной диодной системы |
Естественные и технические науки
2017
.-
№ 8
.-
С.
87 - 91
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Науменко Жанна Николаевна МГТУ |
Расчёт фильтрующего оптического покрытия для голограммных и дифракционных оптических элементов |
Естественные и технические науки
2017
.-
№ 2
.-
С.
114 - 116
|
Статья в журнале |
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Шашурин Василий Дмитриевич МГТУ |
Разработка и внедрение методов и средств для технологического обеспечения равнотолщинности функциональных покрытий |
Технология металлов
2017
.-
№ 4
.-
С.
22 - 27
|
Статья в журнале |
Shishlov A. V. МГТУ
Sagatelyan H. R. МГТУ Shashurin V. D. МГТУ |
Development and implementation of methods and means for achieving a uniform functional coating thickness | Russian Metallurgy (Metally) |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ Шашурин Василий Дмитриевич МГТУ |
Нанесение функциональных металлических тонкопленочных покрытий на ответсвенные детали гироскопических приборов космического назначения |
Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век
2016
.-
№ 3
.-
С.
32 - 38
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Данилов Г. Ю. МГТУ |
Обеспечение симметричности калибровочных направлений в дифракционных углоизмерительных приборах |
Естественные и технические науки
2016
.-
№ 2
.-
С.
93 - 96
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Одиноков Сергей Борисович МГТУ Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ Сафт Мария Владимировна МГТУ Попов В. В. |
Получение голограммных и дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления в стекле | Контенант |
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Горбачева Д. С. МГТУ |
Расчет распределения толщины покрытия для магнетрона с кольцевым испарителем |
Естественные и технические науки
2016
.-
№ 11
.-
С.
256 - 258
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Данилов Г. Ю. МГТУ |
Экспериментальное определение параметров конической дифракции для решеток, работающих на пропускание |
Международный научно-исследовательский журнал
2016
.-
№ 9-2
.-
С.
82 - 88
|
Статья в журнале |
Bobrinev V. I. МГТУ
Kovalev M. S. МГТУ Odinokov S. B. МГТУ Sagatelyan H. R. МГТУ |
Investigation of the properties of a beam reconstructed from volume holographic optical elements used in optical observation devices | Russian Physics Journal |
Статья в журнале |
Kovalev M. S. МГТУ
Krasin G. K. Malinina P. I. Odinokov S. B. МГТУ Sagatelyan H. R. МГТУ |
Wave front sensor based on holographic optical elements | Journal of Physics: Conference Series |
Статья в журнале |
Бобринев Владимир Иванович МГТУ
Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ Одиноков Сергей Борисович МГТУ Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Исследование свойств восстановленного луча с объемных голограммных оптических элементов, используемых в оптических приборах наблюдения |
Известия вузов. Физика
2015
.-
Т. 58
,
№ 10
.-
С.
87 - 94
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Демидов П. С. МГТУ Шишлов Андрей Владимирович МГТУ |
Расчет распределения толщины покрытия при магнетронном напылении |
Естественные и технические науки
2015
.-
№ 6
.-
С.
339 - 341
|
Статья в журнале |
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Методика расчета толщин покрытия в различных точках поверхности заготовки при напылении на магнетронных установках с планетарным механизмом |
Приборы
2015
.-
№ 3
.-
С.
37 - 45
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ |
Анализ распределения толщины тонкопленочного покрытия при магнетронном напылении на установках с планетарным перемещением подложки | Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана |
Статья в журнале |
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Оценка неравномерности скорости магнетронного напыления на установках с планетарным перемещением заготовки |
Научное обозрение
2014
.-
№ 10
.-
С.
54 - 59
|
Статья в журнале |
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Расчет неравномерности толщины слоя при магнетронном напылении |
Естественные и технические науки
2014
.-
№ 8
.-
С.
83 - 86
|
Статья в журнале |
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Расчет скорости напыления в точках подложки при ее планетарном перемещении на установках со сдвоенными магнетронами |
Техника машиностроения
2014
.-
№ 4
.-
С.
11 - 16
|
Статья в журнале |
Новоселов Кирилл Леонидович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Формирование макрорельефа пластины плазмохимическим травлением при изготовлении пластины маятникового акселерометра |
Научное обозрение
2013
.-
№ 2
.-
С.
168 - 172
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ Дроздова Екатерина Андреевна МГТУ |
Создание ДОЭ для формирования точечных эталонных изображений в оптических системах |
Компьютерная оптика [Computer Optics]
2013
.-
Т. 37
,
№ 3
.-
С.
341 - 352
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Колючкин Василий Васильевич МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ |
Создание фазовых голограммных оптических элементов с применением контактной автолитографии |
Естественные и технические науки
2013
.-
№ 6
.-
С.
286 - 288
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ Дроздова Е. А. МГТУ |
Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления для формирования точечных эталонных изображений |
Инженерный журнал: наука и инновации
2013
.-
№ 9(21)
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Одиноков Сергей Борисович МГТУ Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ Дроздова Екатерина Андреевна МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ Жердев Александр Юрьевич МГТУ Донченко Сергей Сергеевич МГТУ Николаев Владимир Вячеславович МГТУ |
Оптимизация процесса нанесения фоторезиста методом планирования эксперимента |
Научное обозрение
2013
.-
№ 12
.-
С.
183 - 189
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Новоселов Кирилл Леонидович МГТУ Шишлов Андрей Владимирович МГТУ Щукин Сергей Алексеевич МГТУ |
Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра |
Инженерный журнал: наука и инновации
2013
.-
№ 6(18)
|
Статья в журнале |
Шишлов Андрей Владимирович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Обеспечение равномерной толщины тонкопленочных покрытий при изготовлении пластины маятникового акселерометра |
Научное обозрение
2013
.-
№ 2
.-
С.
71 - 75
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ Гончаров Антон Сергеевич МГТУ |
Особенности плазмохимического травления стекла при изготовлении дифракционных оптических элементов |
Естественные и технические науки
2012
.-
№ 3
.-
С.
208 - 211
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Кузнецов Алексей Станиславович МГТУ Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ Гончаров Антон Сергеевич МГТУ |
Плазмохимическое травление стекла при формировании микрорельефа изделий |
Научное обозрение
2012
.-
№ 3
.-
С.
77 - 86
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ |
Применение нанотехнологических методов для создания изделий микрооптики с функциональным микрорельефом рабочей поверхности |
Наноинженерия
2012
.-
№ 8
.-
С.
9 - 16
|
Статья в журнале |
Одиноков Сергей Борисович МГТУ
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ Гончаров Антон Сергеевич МГТУ Ковалев Михаил Сергеевич МГТУ Соломашенко Артем Борисович МГТУ Вереникина Нина Михайловна МГТУ |
Экспериментальные исследования процесса плазмохимического травления стекла при изготовлении дифракционных и голограммных оптических элементов |
Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана
2012
.-
№ 5
|
Статья в журнале |
Сагателян Гайк Рафаэлович МГТУ
Новоселов К. Л. МГТУ Шишлов А. В. МГТУ Щукин С. А. МГТУ |
Совершенствование технологическаого процесса изготовления пластины маятникового акселерометра |
Естественные и технические науки
2012
.-
№ 6
.-
С.
369 - 376
|