Маринич Сергей Александрович
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Колесник Леонид Леонидович МГТУ
Маринич Сергей Александрович МГТУ Селезнев А. В. |
Технология кластерного осаждения меди с ассистированием струей инертного газа |
Наноиндустрия
2016
.-
№ 7
.-
С.
86 - 93
|