Цепулин Владимир Германович
| Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
|---|---|---|---|
| Статья в журнале |
Цепулин Владимир Германович МГТУ
Толстогузов Виктор Леонидович МГТУ Степанов Родион Олегович МГТУ Карасик Валерий Ефимович МГТУ |
Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии |
Вестник МГТУ им.Н.Э.Баумана. Серия "Приборостроение"
2017
.-
№ 3
.-
С.
4 - 12
|
| Статья в журнале |
Цепулин Владимир Германович МГТУ
Толстогузов Виктор Леонидович МГТУ Карасик Валерий Ефимович МГТУ Перчик Алексей Вячеславович МГТУ Арефьев А. П. МГТУ |
Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии |
Вестник МГТУ им.Н.Э.Баумана. Серия "Приборостроение"
2016
.-
№ 3
.-
С.
3 - 12
|