Поздняков Василий Георгиевич
Тип публикации | Авторы | Заглавие | Издание, год, номер, страницы |
---|---|---|---|
Статья в журнале |
Поздняков Василий Георгиевич МГТУ
|
Исследование профиля выработки плоского дискового катода магнетронной распылительной системы |
Молодежный научно-технический вестник
2016
.-
№ 5
|
Статья в журнале |
Поздняков Василий Георгиевич МГТУ
Рязанов Виктор Аркадьевич МГТУ Жуков Александр Валентинович МГТУ |
Исследование влияния плотности ионного тока на образование дефектов на поверхности ситалла при ионно-лучевой обработке | Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана |