Одиноков Вадим Васильевич

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
   Вакуумное технологическое оборудование заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 228-232.

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
   Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. - С. 7-18.