Подробное описание документа

Статья

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
Вакуумное технологическое оборудование заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 228-232.

УДК
533.599 Вакуумные установки

Авторы МГТУ

Одиноков Вадим Васильевич

Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 228-232

Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-600-00714-7.

подробнее