Подробное описание документа
Статья
Одиноков В. В.
Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. -
621.01 Теория машиностроения (машиноведение). Механика как теоретическая основа машиностроения