Подробное описание документа

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
   Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. - С. 7-18.

УДК

621.01 Теория машиностроения (машиноведение). Механика как теоретическая основа машиностроения

Авторы МГТУ

• Одиноков Вадим Васильевич
• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях