Родионов Ю. А. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - СПб. : Лань, 2021. - 218 с. : ил. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-8114-5788-5.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.
Личный кабинет
