Антоненко К. И. Процессы вакуумной и плазменной обработки материалов : учеб. пособие / Антоненко К. И. ; Национальный исследовательский ун-т "МИЭТ". - М. : МИЭТ, 2012. Ч. 1 : Теоретические основы. - 2012. - 216 с. : ил. - Библиогр.: с. 214. - ISBN 978-5-7256-0636-2.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.