Расширенный поиск

Панькин Н. А.
   Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана : автореф. дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Панькин Н. А. ; Мордовский гос. ун-т им. Н. П. Огарева. - М., 2008. - 15 с.

Панькин Н. А.
   Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана : дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Панькин Н. А. ; Мордовский гос. ун-т им. Н. П. Огарева. - Саранск, 2008. - 118 л. - Библиогр.: л. 105-118.

Слепнёв А. Г.
   Исследование термодинамических свойств и фононной теплопроводности многослойных наноструктур : автореф. дис... ктн : 01. 04. 14 / Слепнёв А. Г. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 16 с.

Слепнёв А. Г.
   Исследование термодинамических свойств и фононной теплопроводности многослойных наноструктур : дис... ктн : 01. 04. 14 / Слепнёв А. Г. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 218 л. - Библиогр.: л. 206-218.

Колесник Л. Л.
   Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Колесник Л. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 16 с.

Колесник Л. Л.
   Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера : дис... ктн : 05. 27. 06 / Колесник Л. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 143 л. : ил. - Библиогр.: л. 130-139.

Берлин Е. В., Сейдман Л.
   Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Берлин Е. В., Сейдман Л. - М. : Техносфера, 2010. - 527 с. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-222-9.

Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л.
   Нанесение тонких пленок в вакууме : метод. указания к ла. работам по курсам "Основы вакуумной технологии" и "Инженерный практикум" / Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л. ; ред. Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 83 с. : ил. - Библиогр. в конце работ. - ISBN 5-7038-1849-4.

Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А.
   Основы технологии электронной компонентной базы. Моделирование технологических процессов получения тонкопленочных материалов : учебно-методическое пособие / Рабинович О. И., Крутогин Д. Г., Евсеев В. А. ; Министерство образования и науки РФ, Национальный исслед. технол. ун-т "МИСиС", Кафедра технологии материалов электроники. - М. : Издат. Дом МИСиС, 2012. - 80 с. : ил. - Библиогр. в конце разделов. - ISBN 978-5-87623-566-4.

Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О.
   Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике : [монография] / Пащенко А. С., Пляка П. С., Понмаренко В. О. ; РАН. - Ростов-на-Дону : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. - Библиогр.: с. 168-175. - ISBN 978-5-4358-0057-9.