95 записей
Mechanics and Physics of Precise Vacuum Mechanisms / Deulin E. A., Mikhailov V. P., Panfilov Yu. V., Nevshupa R. A. - Dordrecht : Springer, 2010. - 234 p. : ill. - (Fluid Mechanics and its Applications ; vol. 91). - ISBN 978-90-481-2519-7 .
Техника вакуума и её применение в электронике : отечественная и иностранная литература по материалам "Информация о новой технической литературе" ОНТИ и библиографии Всесоюзного общества "Знание" за 1975 (частично 1974) гг. / Всесоюзное общество "Знание". - М., 1976. - 37 л. - (Библиографический сб. / Центральная политех. б-ка. Отдел НТИ и библиогр. ; № 2/10).
Техника вакуума и её применение в электронике : отечественная и иностранная литература по материалам "Информация о новой технической литературе" ОНТИ и библиографии Всесоюзного общества "Знание" за 1976 (частично 1975) гг. / Всесоюзное общество "Знание". - М., 1977. - 22 л. - (Библиографический сб. / Центральная политех. б-ка. Отдел НТИ и библиогр. ; № 2/11). - Библиогр.: л. 22 .
Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В.
Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.:с. 91 . - ISBN 978-5-7038-4029-0 .
Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учеб. пособие по курсам «Технологические ионно-плазменные установки» и «Промышленные магнетронные установки» / Марахтанов М. К., Духопельников Д. В., Воробьев Е. В. ; ред. Ивашкин А. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. - 91 с. : ил. - Библиогр.:
Техника вакуума и её применение в электронике : отечественная и иностранная литература по материалам "Информация о новой технической литературе "ОНТИ и библиографии Всесоюзного общества "Знание" за 1979 (частично за 1978) гг. / Всесоюзное общество "Знание". - М., 1980. - 42 л. - (Библиографический сб. / Центральная политех. б-ка. Отдел НТИ и библиогр. ; № 2/13). - Библиогр.: л. 41-42 .
Вакуумная техника и технология. Шестая Российская студенческая научно-техническая конференция, Казань, 9 - 11 апреля 2013 г. : материалы конференции / Казанский национальный исследовательский технологический университет, Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского, Российское научно-техн. вакуумное общество. - Казань : Изд-во КНИТУ, 2013. - 176 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7882-1387-3 .
Техника вакуума и её применение в электронике : отечественная и иностранная литература по информационным техническим материалам ОНТИ и библиографии Всесоюзного общества "Знание" за 1979 (частично) - 1983 гг. / Всесоюзное общество "Знание". - М., 1984. - 62 л. - (Библиографический сб. / Центральная политех. б-ка. Отдел НТИ и библиогр. ; № 2/14). - Библиогр.: л. 62 .
Базиненков А. М., Каменихин А. Т.
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : метод. указания к выполнению лаб. работ по дисциплине "Основы проекирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования" / Базиненков А. М., Каменихин А. Т. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 62 с. : ил. - Библиогр.:с. 49 . - ISBN 978-5-7038-4675-9 .
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды : метод. указания к выполнению лаб. работ по дисциплине "Основы проекирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования" / Базиненков А. М., Каменихин А. Т. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 62 с. : ил. - Библиогр.:
Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-600-00714-7 .
