Оптико- электронные измерения : сб. ст. / Андреев В. И., Аневский С. И., Березина Л. В. [и др.] ; ред. Иванов В. С. - М. : Университеская книга, 2005. - 711 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-98699-005-6.
Чехович Е. К. Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Чехович Е. К. ; ред. Пилипович В. А. ; Академия наук Белорусской ССР, Институт электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212 с. : рис. - Библиогр.: с. 200-211. - ISBN 5-343-00087-8.
Используя сайт Библиотеки МГТУ им. Н. Э. Баумана,
Вы соглашаетесь с использованием файлов cookie и сервисов сбора и анализа статистики посещений
для обеспечения работоспособности сайта и улучшения качества обслуживания.
Подробнее о файлах cookie.