3 записи
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем/АН Узбекской ССР. Центральное проектно-конструкторское и технологическое бюро научного приборостроения. - 1989. - 167 с.
Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Комаров Ф. Ф., Новиков А. П., Соловьев В. С., Ширяев С. Ю. - Минск : Университетское, 1990. - 318 с., [16] с. фот. : рис., табл., граф. - Библиогр.: с. 293-318 . - ISBN 5-7855-0192-9 .
Аддитивные технологии в производстве изделий аэрокосмической техники : учебник для вузов / А. Л. Галиновский, Е. С. Голубев, Н. В. Коберник, А. С. Филимонов ; под общей редакцией А. Л. Галиновского. — 2-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 145 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-16005-5.
