Личный кабинет
6 записей
Статья
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.
Идеология проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования / Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. // Конверсия в машиностроении. - 2008. - № 2. -С. 75-87 .
Идеология проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования / Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. // Конверсия в машиностроении. - 2008. - № 2. -
Статья
Васин В. А.
Методы проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования на основе приводов управляемой упругой деформации / Васин В. А. // Конверсия в машиностроении. - 2008. - № 2. -С. 88-97 .
Методы проектирования конструктивной элементной базы вакуумного технологического оборудования на основе приводов управляемой упругой деформации / Васин В. А. // Конверсия в машиностроении. - 2008. - № 2. -
Автореферат диссертации
Гаценко А. А.
Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик : 05. 13. 06 : 05. 02. 04 : автореф. дис... ктн / Гаценко А. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2003. - 16 с.
Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик : 05. 13. 06 : 05. 02. 04 : автореф. дис... ктн / Гаценко А. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2003. - 16 с.
1 экз.
Диссертация
Гаценко А. А.
Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик : 05. 13. 06 : 05. 02. 04 : дис... ктн / Гаценко А. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2003. - 155 л. - Библиогр.:л. 146-155 .
Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик : 05. 13. 06 : 05. 02. 04 : дис... ктн / Гаценко А. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2003. - 155 л. - Библиогр.:
1 экз.
Автореферат диссертации
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.
1 экз.
Диссертация
Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:л. 30-32 .
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.:
1 экз.
