Подробное описание документа

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.

УДК

533.5:62-982

Предметные рубрики

• Вакуумные установки - Диссертации
• Пленки - Получение - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л