Подробное описание документа

Диссертация

Одиноков В. В.
Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.: л. 30-32.

УДК
533.5:62-982

Предметные рубрики

Вакуумные установки - Диссертации

Пленки - Получение - Диссертации

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л