Личный кабинет
2 записи
Статья
Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В.
Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 9. -С. 3-6 .
Имитационное моделирование кластерного технологического оборудования в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Рябов В. Т., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 9. -
Статья
Куликов И. Н., Шубников А. В.
Объединенный (интегрированный) онлайн контроль полуфабриката и процесса его производства в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2015. - № 9. -С. 43-47 .
Объединенный (интегрированный) онлайн контроль полуфабриката и процесса его производства в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2015. - № 9. -
