Подробное описание документа

Статья

Куликов И. Н., Шубников А. В.
Объединенный (интегрированный) онлайн контроль полуфабриката и процесса его производства в полупроводниковом производстве / Куликов И. Н., Шубников А. В. // Наноинженерия. - 2015. - № 9. - С. 43-47.

УДК
621.793.06 Машины и оборудование. Конструкция и принцип работы в целом

Авторы МГТУ

Куликов Игорь Николаевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 43-47

Журнал

Наноинженерия.
№ 9. - 2015.

подробнее