Подробное описание документа

Алексенко А. Г., Балан Н. Н., Волков Ю. А.
   О динамическом поведении упругих элементов МЭМС-устройств в присутствии эффекта электростатического схлопывания / Алексенко А. Г., Балан Н. Н., Волков Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 47-53.

УДК

621.382.049

Статья опубликована в следующих изданиях