Расширенный поиск

Алексенко А. Г., Балан Н. Н., Волков Ю. А.
   О динамическом поведении упругих элементов МЭМС-устройств в присутствии эффекта электростатического схлопывания / Алексенко А. Г., Балан Н. Н., Волков Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 47-53.

   Исследование и разработка микроэлектромеханического реле на основе пьезоэлектрических пленок / Горнев Е. С., Зайцев Н. А., Пузикова Е. В., Сафронов А. Я. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. - С. 58-61.

Мухуров Н. И., Ефремов Г. И.
   Электростатические микрореле с массивным якорем / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 4. - С. 57-60.